सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरण धातु सब्सट्रेट सामग्री पर अत्यंत सख्त आवश्यकताएं लागू करते हैं। मामूली मशीनिंग विकृति या अस्थिर थकान प्रदर्शन उपकरण की खराबी और उत्पादन हानि का कारण बन सकते हैं। हांगशान फोर्जिंग से हमारी उच्च श्रेणी की जाली एल्यूमीनियम प्लेटें, जिनमें शामिल हैं:6061-T652 और 5083-H112 / 5083-O ग्रेडइन्हें सेमीकंडक्टर वैक्यूम सिस्टम की कठोर मांगों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। ये बड़े आकार के चैम्बर संरचनाओं के लिए विश्वसनीय सामग्री विकल्प बन गए हैं।
पारंपरिक रोल्ड एल्युमीनियम प्लेटें सीएनसी मशीनिंग के बाद स्पष्ट रूप से विकृत हो जाती हैं, खासकर बड़े आकार के वर्कपीस के लिए। 6061-T652 फोर्ज्ड एल्युमीनियम प्लेट असाधारण कठोरता और न्यूनतम विरूपण प्रदान करती है। मशीनिंग के बाद इसका विरूपण ≤0.03 मिमी प्रति मीटर तक नियंत्रित रहता है, जिससे मानक रोल्ड एल्युमीनियम शीट की तुलना में विरूपण का जोखिम 60% तक कम हो जाता है। यह विशेषता इसे 1.5 मीटर × 3 मीटर वैक्यूम चैंबर साइड पैनल जैसे बड़े आकार के चैंबर घटकों के लिए एकदम उपयुक्त बनाती है। कम अवशिष्ट तनाव कटिंग, मिलिंग और असेंबलिंग प्रक्रियाओं के दौरान आयामी स्थिरता बनाए रखता है।
निर्वात वातावरण में चक्रीय गति के अधीन भागों के लिए,5083-H112 जाली एल्यूमीनियम स्टैंडयह उत्कृष्ट दीर्घकालिक सेवा प्रदर्शन प्रदान करता है। इसकी थकान प्रतिरोध क्षमता 120 एमपीए तक पहुँचती है। इसके उन्नत यांत्रिक गुण सेमीकंडक्टर टूल्स के अंदर वेफर ट्रांसफर आर्म्स जैसे उच्च आवृत्ति पर चलने वाले घटकों के लिए उपयुक्त हैं। बार-बार चक्रीय भार पड़ने पर भी, इसकी सूक्ष्म संरचना थकान दरारों का प्रतिरोध करती है और घटक के सेवा जीवन को बढ़ाती है।
ये विशेष रूप से निर्मित एल्युमीनियम मिश्र धातुएँ प्रमुख सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण मशीनों में उपयोग की जाती हैं। इनके विशिष्ट अनुप्रयोगों में एचिंग चैंबर बॉडी, थिन-फिल्म डिपोजिशन उपकरण फ्रेम और निरीक्षण प्रणालियों के लिए गाइड रेल शामिल हैं। प्रत्येक निर्मित प्लेट की संपूर्ण धातुकर्म संबंधी जांच की जाती है ताकि आंतरिक दाने की संरचना में एकरूपता और सटीक आयामी सहनशीलता सुनिश्चित हो सके।
आपके भरोसेमंद आपूर्तिकर्ता के रूप में, हम थोक ऑर्डर और कस्टम प्रोसेसिंग के लिए हॉन्गशान फोर्ज्ड एल्युमीनियम की असली प्लेटें उपलब्ध कराते हैं। हमारी तकनीकी टीम आपके वैक्यूम उपकरण की विशिष्टताओं के अनुरूप सामग्री परामर्श प्रदान करती है।
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पोस्ट करने का समय: 02 सितंबर 2026
